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氧聚集体相关论文
单晶硅片中氧沉淀演化行为的相场法模型及其模拟研究
硅单晶是支撑信息技术产业和光伏产业发展的基础材料,它的性能直接影响和决定着相关高技术产业的发展。随着直拉硅单晶的直径不断......
学位
单晶硅片
相场模型
退火
氧聚集体
氧沉淀
低温退火期间快速热处理硅片中氧聚集体演变的相场仿真
随着我国推进中国制造2025的战略发展,国产芯片的研发及制造成为此发展战略的重要环节。对于芯片衬底材料之一的单晶硅的发展,提出......
学位
单晶硅片
氧聚集体
仿真
相场法
低温退火
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