氩离子源相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

氩离子源相关论文

低能高束流氩离子源的结构及性能

离子源技术是等离子体研究中的一项重要内容，而低能大束流源则是离子源技术研究中的一个重要方向，因为这样的源在离子束刻蚀、离子束......

期刊

氩离子源空心阴极空心阳极磁场离子源性能溅射沉积 Argon ion source Hollow cathode Hollow anode Mag

带有扩散腔室的多源驱动的感性耦合放电的混合模拟

在国际热核聚变实验堆计划(ITER计划)中,为了产生能够实现热核聚变的高温等离子体,需要采用辅助热手段,即中性束注入加热技术。由......

学位

射频感性耦合放电多源驱动氩离子源混合模型 COMSOL软件

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