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氮化涂层相关论文
N2-Ar管子型空心阴极放电表面氮化空间等离子特性模拟研究
N2及N2-Ar空心阴极放电中产生的氮活性粒子(N+、N2+、N),可用于氮化物薄膜制备、金属表面氮化等。金属表面氮化涂层技术一般希望得......
学位
等离子体
PIC/MCC混合模型
空心阴极放电
氮化涂层
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