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氮化铝多层膜相关论文
氮化铝多层膜制备及其声表面波器件性能表征
采用直流磁控溅射方法,在硅衬底与超纳米晶金刚石衬底上沉积生长了氮化铝(0002)择优取向薄膜,研究了不同衬底对氮化铝薄膜应力的影响......
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氮化铝多层膜
微观结构
声表面波器件
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