氮化铝晶相关硕士博士期刊学术论文

本文研究了AlN晶体的离子注入掺杂和晶体的光学、电学性质，分析了晶体缺陷和结晶质量，讨论了获得低阻AlN单晶的掺杂方法和途径。主要......