氮化镓(GaN)薄膜相关硕士博士期刊学术论文

建立了氮化镓(Ga N)薄膜和氧化铝(Al2O3)衬底三维有限元模型模拟因两种材料热膨胀系数不同导致的温度应力和变形。进行了不同沉积......