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氮化镓薄膜材料相关论文
氮化镓基紫外探测器腐蚀工艺研究
GaN基薄膜材料由于其直接带隙、化学性质稳定且波段可调范围广等诸多优点已成为了半导体光电领域的研究热点,并在发光器件领域被广......
学位
湿法化学腐蚀
欧姆接触
紫外探测器
氮化镓薄膜材料
刻蚀工艺
碳化硅衬底上氮化镓薄膜材料及其发光器件特性研究
该文首先讨论了GaN材料基本性质,探讨分析了利用MOCVD设备在SiC衬底001晶向生长GaN单晶薄膜材料的工艺方法与控制条件.其次对薄膜......
学位
氮化镓薄膜材料
LED
异质外延
碳化硅
晶体结构
半导体材料
GaN器件
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