氮气放电相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

氮气放电相关论文

分子束外延设备等离子体气体源炉的研究

随着电子信息化时代的飞速发展,以氮、氧化物为代表的第三代半导体材料已经成为当今世界研究与应用的热点。分子束外延是生长氮、......

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分子束外延设备射频电感耦合等离子源等离子体流体力学模型氮气放电

射频容性耦合氮及氮/氩等离子体的流体力学模拟及实验验证

在超大规模集成电路制造工艺中,有近三分之一的工序用到低温等离子体技术,如材料刻蚀、薄膜沉积等。在实际工艺中,一般采用复杂的......

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射频放电容性耦合等离子体流体力学模拟氮气放电氮/氩放电

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