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氮氩气压比相关论文
氮氩流量比对磁控溅射TiN薄膜生长织构的影响
采用直流反应磁控溅射法,通过控制氮氲流量比,在Si(111)衬底上沉积了TiN薄膜,并用织构系数来量化TiN薄膜的生长取向。对TiN薄膜的织构、......
期刊
氮氩气压比
氮化钛薄膜
织构
磁控溅射
N2/Ar air pressure TiN thin films orientation magnetron sput
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