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氮MOS栅介质相关论文
含氮MOS栅介质中氮的结键模式
借助于XPS分析技术,首次研究了MOS结构栅SiO2中引入N后的结键模式。结果表明,N主要以Si-N而非Si-O-N结键形式存在于栅SiO2中。含N M......
期刊
氮MOS栅介质
氮
金属-氧化物-半导体
X光电子谱
结键
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