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沟槽台阶形貌相关论文
离子束蚀刻硅片沟槽台阶形貌研究
<正> 1 离子束蚀刻实验 1.1 样品制备取机械抛光的N型单晶硅片(1,1,1)作蚀刻样品,均匀涂上厚度为1μm的OMR-83光刻胶,利用集成电路......
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沟槽台阶形貌
ion beam etching
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