沟槽纵横比相关硕士博士期刊学术论文

理论推导了绝缘体上硅（SOI）双槽隔离结构的耐压模型．该模型表明，在S0I双槽隔离结构中，因隔离氧化层压降的不均衡，高压侧隔离氧化层提前发......