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中子辐照GaAs的沟道卢瑟福背散射研究
用沟道RBS方法研究了中子辐照GaAs的缺陷在快速退火过程中的恢复行为。结果表明,在10^14 ̄10^17/cm^2范围内离位原子浓度近似按辐照剂量量级的平方关系增长,中......
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砷化镓
中子辐照
沟道RBS法
Neutron irradiationRutherford backscattering spectroscopy
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