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面向灵巧蒙皮的微型压力传感器的设计与分析
MEMS器件具有重量轻、体积小和功耗低等优点,可以很好地满足航空飞行器的要求,而将基于MEMS的微型传感器集成用于检测飞行器蒙皮的相......
学位
微机电系统
微型压力传感器
阵列
光学压力传感器
法布里-帕罗
压力传感器
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