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随着半导体制造技术的发展和集成电路元件尺寸的缩减,套刻预算也相应被削减。由于测量系统自身的光学瑕疵,以及光束与测量目标的几......
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热导率、界面热阻等热物性是电子工业、能源收集与转化等领域关注的重点。例如,微纳电子器件中界面热阻的降低有助于散热效率的提......