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透镜-反射镜式测量镜对干涉微位移测量的影响
采用基于透镜-反射镜式逆反射光路的干涉仪进行微位移测量时,被测位移会引起测量光束的波面变化。本文对这种波面变化和其对位移测......
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微位移测量
干涉仪
波面变化
逆反射
micro-displacement measurement
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