流-热-固多场耦合分析相关硕士博士期刊学术论文

等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)是一种重要的镀膜工艺,广泛应用于光伏、集成电路等工业。目前我国在PECVD装置方面仍然落后于......