浓硼硅薄膜相关硕士博士期刊学术论文

考虑残余应力的情况下，薄膜在大挠度时总应力的解析表达式．通过实验观察，深腐蚀得到的浓硼重掺杂硅薄膜表面存在微蚀坑．考虑微蚀坑和残......