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淀积氮化硅膜相关论文

卧式热壁型PECVD设备

1、简介rn我公司研制的卧式PECVD设备专门应用于太阳能电池制造领域中氮化硅薄膜的淀积工艺.rn由于PECVD淀积氮化硅膜时,在生长氮......

期刊

卧式淀积氮化硅膜载流子迁移率钝化作用太阳能电池氮化硅薄膜专门应用制造领域减反射膜淀积工艺表面原子氢悬挂键氢原子设备硅片

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