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微波等离子体化学气相淀积法制备YBaCuO超导薄膜初步研究
本文介绍了文献中尚未见报道的利用微波等离子体CVD系统制备YBaCuO超导薄膜的探索性研究结果。在不断调整各工艺参数的基础上,摸索......
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微波等离子体
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