混合产品制程相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

混合产品制程相关论文

采用指数加权平均控制器的半导体生产过程的稳定性与性能分析

半导体生产工业的高投入以及生产设备的昂贵使得生产效率的提高对生产商来说至关重要。因此,在当代半导体生产厂中,同一个生产机台......

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指数加权平均批间控制测量时延单一产品制程混合产品制程

基于扰动状态估计的批间控制器设计与性能评估

批间控制广泛应用于半导体制造业。在现代晶圆生产工厂中,一台设备同时生产加工不同类型产品的混合生产模式已经是一种常态。单一......

学位

批间控制状态估计贝叶斯估计理论测量时延期望最大化算法控制性能评估混合产品制程

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