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离子束混合诱导稀土金属Ce与Si的界面反应及硅化物的形成
本文详细讨论了离子束混合下,Ce/Si〈100〉双层膜体系界面反应的动力学过程以及硅化物的形成规律.样品经150KeV Ar离子注入,辐照温......
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