清洁尾气相关硕士博士期刊学术论文

四乙氧基硅烷（别名：正硅酸乙酯）制备过程中合成工序产生的尾气主要成分是四氯化硅、乙醇、中间产物和氯化氢。尾气中的HCl是合成三氯......