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MEMS闭环加速度计温漂数字化处理
MEMS电容式加速度计受温度影响,敏感结构易产生结构参数及应力变化,电路易产生漂移,两者共同作用引起加速度计输出电压变化,使加速......
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MEMS电容式加速度计
温漂误差
温漂滞环
数字化补偿
MEMS capacitive accelerometertemperature drift error
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