湿法刻蚀体系相关硕士博士期刊学术论文

GaSb是一种由Ⅲ-Ⅴ族元素组成的窄禁带半导体材料,因其晶格常数跟光谱范围在1.7～4.4μm的三元、四元固熔体合金材料相匹配,可作为良......