溅射功率密度相关论文
报道了巨磁电阻自旋阀传感器的CoCrTa永磁体(PM)膜制备工艺的初步研究结果,即基板负偏压、靶溅射功率密度、膜厚及溅射工作气体Ar......
会议
利用中频磁控溅射方法,溅射Ga2O3含量为6.7wt%的氧化锌镓陶瓷靶材,在低温下(约40℃)制备了ZGO薄膜.考察了溅射功率密度对ZGO薄膜的......
本文设计一种透明ITO薄膜应变计,完成了对ITO薄膜应变计中的敏感栅薄膜、绝缘层薄膜与薄膜应变计结构的制备、研究与选择。这种透......
