溅射环境相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

溅射环境相关论文

溅射环境下薄膜沉积速率的影响因素

基于溅射沉积和薄膜生长原理，系统综述分析电场环境、气氛环境和工件空间位置及旋转方式对薄膜沉积速率的客观影响规律，旨在为产业界......

期刊

溅射环境薄膜沉积速率 sputtering environment films deposition rate

溅射环境下影响硅薄膜晶化的因素

基于溅射沉积和薄膜生长原理，系统综述分析溅射功率、沉积气压、衬底温度、衬底的选择等对硅薄膜晶化过程的客观影响规律，旨在为学术......

期刊

溅射环境硅薄膜晶化

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