溅射薄膜沉积相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

溅射薄膜沉积相关论文

磁控溅射镀膜相关物理过程的多尺度模拟与实验研究

磁控溅射沉积技术具有沉积温度低、成膜致密性高、薄膜结合力强等优点,并且具有独特能量分布的溅射原子在沉积过程中可对生长表面......

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磁控溅射溅射原子输运溅射薄膜沉积薄膜均匀性分子动力学方法蒙特卡洛方法

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