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溅磁控溅射相关论文
溅射工艺对LaNiO_3薄膜结构的影响
采用射频磁控溅射法在Si(100)衬底上制备了LaNiO3薄膜。通过原位加热或后续热处理使薄膜晶化。借助X-ray衍射分析、电感耦合等离子体......
期刊
溅磁控溅射
镍酸镧薄膜
择优取向
沉积温度
rf sputtering
LaNiO3 thin films
orientation
deposition
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