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源气输送系统相关论文
MOCVD与HVPE双腔体设备源气输送系统的研究与设计
随着半导体技术的不断发展,半导体材料已经发展到了第三代,GaN单晶体材料凭借其优越的性能,成为第三代半导体材料中迄今理论上电光转......
学位
半导体薄膜
双腔体设备
源气输送系统
管路设计
气相外延生长
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