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针对带滞留时间约束的混流集束型晶圆制造装备调度问题,为了优化晶圆加工排序和机械手搬运作业排序,提出了改进差分进化算法.通过......
针对半导体制造中有滞留时间约束的集束型装备,研究了临时晶圆到达时的在线调度问题,描述了调度问题域,建立了问题的数学模型,并根......
研究了加工多类型晶圆和有滞留时间约束的集束型装备调度问题,其中包括晶圆排序和双臂机械手搬运作业排序两类问题.分别推导了三类......
针对半导体制造中的有滞留时间约束集束型装备调度问题,以最小化生产周期为目标,建立问题的数学模型,提出基于机械手搬运作业顺序......
考虑机械手在输入装载室、加工模块和输出装载室三者间搬运时间和空载时间下,求解半导体制造中具有滞留时间约束的集束型装备调度......
