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激光增强化学气相沉积相关论文
激光增强CVD法制备柱状晶结构锆酸镧涂层及其性能研究
使用La(dpm)3和Zr(dpm)4为前驱体,氧气为反应气体,通过激光增强化学气相沉积法制备了烧绿石结构的锆酸镧(LZ)涂层。研究了激光功率......
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激光增强化学气相沉积
锆酸镧
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LCVD
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