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文章借鉴激光清洁技术、激光全息掩模以及激光冷却原子等方面最近取得的科学新成就，评述了激光技术在微电子领域的新应用及其动向。......
激光清洁法较之其它方法有其独特的优点，本文采用ＹＡＧ脉冲激光器作光源，对几类表面附着物的清洁进行了实验研究。初步的实验结果表明，清洁......
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针对光学元件镀膜前,对元件表面清洁要求高的特点,阐述了当前主要存在的清洁技术,并重点探索了激光清洁技术的优点和技术分类,提出......
