激光莫尔信号相关论文
介绍利用激光干涉莫尔信号的精密定位方法,给出激光莫尔信号传感器光栅设定角度误差时的莫尔信号位移特性,以此说明了光栅设定的角度......
介绍了激光莫尔信号精密定位装置中光栅倾斜时莫尔信号的位移特性,给出了光栅倾斜时差动式和修正式精密定位方法、定位精度的计算......
为提高基于激光莫尔信号精密装置的定位精度,本文探讨了激光束束径与激光莫尔信号的依存关系,给出了与光栅衍射缝隙条数相对应的最......
在分析利用激光干涉莫尔信号的精密定位方法的基础上,提出了精密定位的粗控、微控两段复合式控制方法,实现了装置宽范围控制的精密定......