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激光-等离子体辅助化学气相沉积相关论文
人工神经网络—遗传算法优化激光—等离子体化学气相沉积Si3N4薄膜制备工艺
应用人工神经网络建立了激光-等离子体辅助化学气相沉积(LPCVD)工艺参数与Si3N4薄膜显微硬度的关系.并运用遗传算法优化出了最佳工......
期刊
激光-等离子体辅助化学气相沉积
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