灰化率相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

灰化率相关论文

含氟气体的去光刻胶工艺灰化率提高的研究

在现代集成电路制造中,灰化工艺加氟可有效地提高离子注入后去除光刻胶的能力;但同时,相对于灰氧去胶工艺,这种工艺的灰化率呈大幅......

学位

光刻胶去光刻胶灰化灰化率气体扩散器

后段工艺干法去除光刻胶研究

干法去胶是用等离子体将光刻胶剥除,相对于湿法去胶,干法去胶的效果更好、速度更快。在现代集成电路制造中,干法去胶工艺加氟可有......

期刊

光刻胶去胶灰化灰化率

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