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炉温梯度相关论文

炉温对化学气相沉积SiC涂层组成及显微结构的影响

采用SEM、EDX、XRD测试手段对沉积炉壁产物进行了分析,结果表明:低温区沉积的SiC涂层全为β-SiC;高温区SiC涂层中含有少量的游离态......

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涂层组成显微结构炉温梯度化学气相沉积 SIC涂层碳化硅陶瓷材料三氯甲基硅烷 furnace temperature gradient CVD SiC

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