热模压加工相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

热模压加工相关论文

基于MEMS微加工技术的高灵敏度隧道传感器的研究

基于硅加工的高灵敏微型隧道传感器在过去15年里得到了充分的发展.多种隧道传感器被开始出来,例如加速度计,角速度计,红外传感器,......

期刊

隧道传感器灵敏度分辨率聚合物热模压加工低频噪音 tunneling sensor sensitivity resolution polymer

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