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热模压加工相关论文
基于MEMS微加工技术的高灵敏度隧道传感器的研究
基于硅加工的高灵敏微型隧道传感器在过去15年里得到了充分的发展.多种隧道传感器被开始出来,例如加速度计,角速度计,红外传感器,......
期刊
隧道传感器
灵敏度
分辨率
聚合物
热模压加工
低频噪音
tunneling sensor
sensitivity
resolution
polymer
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