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热激活退火相关论文

Si中掺杂原子的瞬间增强扩散现象及抑制方法

简要地介绍了单晶Si中注入掺杂原子在热激活退火中发生的瞬间增强扩散现象, 综述了该现象发生的可能的微观机制和目前提出的几种抑......

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注入掺杂瞬间增强扩散单晶 SI 高能重离子抑制方法原子热激活退火 dopant implant transient enhanced diffusio

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