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偏压对金刚石膜成核过程的影响
金刚石膜与天然金刚石类似,具有许多优异的特性,可广泛用于机械、光学和电子等领域.目前已用各种CVD技术制备出了可供实际应用的金......
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金刚石膜
负偏压
热灯
核密度
异质外延
沉积膜
成核过程
过渡层
天然金刚石
微波等离子体
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