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热释电厚膜探测器相关论文
电泳沉积PZT厚膜材料与集成器件工艺研究
热释电红外探测器是一种可在室温下使用,光谱响应宽和工作频率宽的高可靠性的探测器,在电子防盗、人体探测器领域中具有重要的应用。......
学位
PZT厚膜
电泳沉积
MEMS
热释电厚膜探测器
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