1994年，日本日亚公司的S.Nakamura提出了GaN蓝光LED的发明技术，1996年，日亚公司利用GaN蓝光LED激发YAG荧光粉获得白光成分。这种白光L......

微热敏器件的关键是热隔离结构的设计与工艺实现。典型的热隔离结构是采用湿法、干法或者键合工艺实现的悬空薄膜或者悬空薄膜梁结......

推导了微测辐射热计热隔离结构的热量模型，对系统热响应时间和响应率之间的关系进行了分析，在满足系统响应要求下对热隔离结构的热量......