燃烧焰法相关论文
本文探讨了在燃烧焰法沉积金刚石薄膜过程中，稀释气体Ａｒ 对沉积质量的影响。发现在成膜过程中适当量的Ａｒ 起到增大内焰体积、降低沉积速......
研究了衬底表面不同处理对燃烧焰法沉积金刚石成核密度的影响，发现用硬微粉（金刚石，碳化硅）对衬底的刻划。能明显地提高成核密度，在衬底......
燃烧焰法与其他合成金刚石膜的ＣＶＤ法相比，具有设备简单、投资少、膜质量高、生长速率高的特点。本文对燃烧焰法的成膜机理、膜均匀性、......
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