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LPCVD法制备TiO2纳米薄膜的物效及能效研究
针对LPCVD法制备TiO2纳米薄膜过程中物效和能效低的特点,主要考虑沉积压力、沉积温度和物料的流量3个因素。研究了不同的工艺参数......
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TiO2纳米薄膜
LPCVD
物效
能效
nano-TiO2 film
LPCVD
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