物理气相沉积磁控溅射相关论文
Cr-Si—N涂层具有较高的硬度,良好的耐磨损抗氧化功能。本文采用磁控溅射沉积方法,以偏压为变量,在三种基片上制备Cr—Si—N涂层。......
采用不同的电源频率沉积新型硬质耐磨VB2涂层。用X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)表征VB2涂层的结构;采用纳米......
期刊
