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等离子体环境下模板制备纳米点阵的理论研究
本论文主要理论研究了在低温等离子体环境下,利用各种纳米结构模板,通过沉积以及刻蚀的方法,制备金属以及介质纳米结构过程中各实验参......
学位
低温等离子体
纳米结构
纳米点阵
离子轨迹
纳米孔洞
球珠模板
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