电介质自对准接触通孔刻蚀工艺相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

电介质自对准接触通孔刻蚀工艺相关论文

深亚微米集成电路制造中电介质自对准接触通孔刻蚀工艺机理及应用

自对准接触通孔刻蚀工艺是大规模集成电路制造流程中最关键的工艺之一。随着大规模集成电路制造朝着更小关键尺寸和更高集成度方向......

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刻蚀等离子体反应离子刻蚀电介质自对准接触通孔刻蚀工艺

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