电化学机械平坦化相关论文
根据电化学分析，5-甲基苯并三氮唑（m-BTA）的腐蚀抑制能力要高于并三唑（BTA）的-当羟基乙叉二膦酸（HEDP）电解液中同时含有m—BTA及氯离子时，......
电化学机械平坦化（Electrochemical mechanical planarization,ECMP）技术被认为是最具发展潜力的低强度Cu/low-k表面低压力平坦化技......
