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电喷射沉积相关论文
电流体喷射沉积PZT压电微结构及器件的研究
利用压电性能优异的PZT压电厚膜微结构与PZT压电复合微结构制备的超声换能器、能量收集器、微质量检测传感器及水声换能器等被广泛......
学位
PZT压电微结构
电喷射沉积
PZT压电器件
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