介绍了用于电子束投影曝光系统中薄膜加散射体掩模的制备、性能和使用情况 The preparation, performance and usage of thin fil......

PREVAIL作为下一代电子束投影曝光技术 ,采用可变轴浸没透镜 ,对以硅为支架的碳化硅薄膜进行投影微缩曝光。在 1mm2 子场的情况下 ......

介绍了用于电子束投影曝光系统中薄膜加散射体掩模的制备、性能和使用情况。...